低溫泵系統(tǒng)常見故障排除
低溫泵系統(tǒng)故障分為壓縮機故障和真空抽氣系統(tǒng)故障兩部分。故障排查順序一般是先檢查氦氣壓縮機部分,再檢查真空抽氣系統(tǒng),根據(jù)檢查結(jié)果再進一步排除故障。
壓縮機故障的排除:壓縮機的故障有潤滑油泄漏、氦氣泄漏、壓縮機完全不能運轉(zhuǎn)、壓縮機開啟后只能運轉(zhuǎn)幾分鐘就停機、壓縮機發(fā)出很大的噪聲。根據(jù)多年的經(jīng)驗制成對照表1,便于使用中排除壓縮機的故障。
真空抽氣系統(tǒng)故障的排除:真空抽氣系統(tǒng)故障常見現(xiàn)象是被抽容器的壓力升高,原因有真空系統(tǒng)漏氣、低溫泵出現(xiàn)故障。可以用氦質(zhì)譜檢漏儀分別對低溫泵和真空容器進行檢漏,若未發(fā)現(xiàn)異常可以按照下表對照逐一排除。